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    LMG2A系列直線電機

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    點擊次數:1112 更新時間:2019年10月19日10:45:05 打印此頁 關閉

    特征


    應用



    最大行程4m x 4m 
    以線性滑軌或空氣軸承架構之定位平臺
    良好接地設計防止噪聲干擾 
    Z
    向震動可達奈米等級以下
    最大速度可達5m/s 
    標準重現精度1um或以下
    位置回饋系統分辨率最低可達50nm

    半導體設備
    自動化搬送
    FPD
    設備
    太陽能制造設備
    PCB
    設備
    水刀設備
    鉆石切割產業
    AOI
    檢測設備
    工具機


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