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    HIWIN上銀 晶圓機器人|多軸機器人

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    點擊次數:1324 更新時間:2019年09月06日10:46:16 打印此頁 關閉

    特征 
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    軟硬件垂直整合優勢,并且采用高精密,高剛性直驅馬達,重復精度達±0.02mm,回轉半徑小,空間使用率高。

    應用 
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    適用于半導體產業(晶圓取放)、光電產業(小型面板、小型太陽能板)、LED產業(藍寶石基板、膠環)等取放設備。

    規格資料
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